포스코, 반도체용 희귀가스 ‘네온’ 생산 설비·기술 국산화

이윤혜 기자

dbspvpt@datanews.co.kr | 2022.01.12 11:27:50

포스코는 국내 최초로 반도체용 희귀가스 네온(Ne)의 생산 설비 및 기술을 국산화하고 성공적으로 첫 제품을 출하했다고 12일 밝혔다.

최근 반도체 시장의 급성장에 따라 반도체 생산에 필수적으로 사용되는 네온(Ne), 제논(Xe), 크립톤(Kr) 등 희귀가스의 수요 역시 가파르게 증가하고 있다.

업계에서는 2020년 약 1600억 원 규모였던 국내 희귀가스 시장이 2023년에는 약 2800억 원 규모로 확대되는 등 연평균 20%가량 성장할 것으로 전망하고 있다.

그 중 네온은 공기 중에 0.00182% 밖에 포함되어 있지 않은 희귀가스로, 반도체 노광공정에서 사용되는 엑시머 레이저 가스의 원재료 중 하나다. 과거 무역 분쟁 등에 따른 가격 폭등과 공급 부족을 겪으며 국산화 시도가 이뤄졌지만, 외국 기술에 의존한 개발에 그쳤고 이 역시도 생산이 중단돼 현재 수요의 전량을 수입하고 있다.

이에 포스코는 반도체용 특수가스 전문기업인 TEMC와 협력해 2019년 말부터 약 2년에 걸쳐 네온 생산의 완전 국산화를 추진해왔다.

제철 공정용 가스 생산에 사용 중인 대형 공기분리장치를 활용해 광양제철소 산소공장과 TEMC의 기술력을 기반으로 국내 최초의 네온 생산 설비를 자체 개발했다. 또 이를 통해 추출한 네온을 TEMC가 독자 기술로 정제한 후 완제품인 엑시머 레이저 가스까지 생산하는 전 공정 국산화를 완성했다.

포스코는 향후 네온 생산 설비의 증설을 통해 국내 네온 공급망을 더욱 견고히 하고, 마찬가지로 100% 수입에 의존 중인 제논과 크립톤 역시 강소기업과의 협업으로 생산기술을 개발해 국내 산업가스 시장의 상생모델을 구축한다는 방침이다.

이윤혜 기자 dbspvpt@datanews.co.kr