프랙틸리아, EUV 패턴 제어 및 수율 향상 위해 HVM 팹에 스토캐스틱 분석기술 제공

프랙틸리아는 현재 스토캐스틱 기반 분석과 제어를 이끌어가는 차세대 반도체 산업 주자로서 자사의 FAME(프랙틸리아 자동화 측정 환경) 포트폴리오에 최신 제품인 FAME 300을 추가한다고 22일 밝혔다. 

대량 제조(high-volume manufacturing, HVM) 팹 환경에서의 사용을 위해 특별히 설계된 FAME 300은 첨단 노드 공정에서 패터닝 오류의 주된 원인인 스토캐스틱 효과를 실시간으로 측정, 감지 및 모니터링 할 수 있다. 

FAME 300을 사용할 경우 팹에서 스토캐스틱 변이로 인해 발생하는 잠재적 공정 문제를 단 몇 분만에 파악할 수 있어 신속한 수정 조치를 통해 자사의 패터닝 공정에 대한 제어를 개선하고 수율을 최적화할 수 있다고 이 회사는 설명했다.

FAME 300은 프랙틸리아의 FILM(Fractilia Inverse Linescan Model) 특허기술을 활용한다. 이 기술은 CD(임계 선폭) 측정뿐 아니라 거칠기를 포함한 다양한 스토캐스틱 효과를 고도로 정확하고 정밀하게 측정할 수 있는 팹 솔루션이다. 

프랙틸리아는 자사 제품이 반도체 제조사, 장비 회사 및 반도체 원재료 공급사의 연구개발 및 공정 개발 환경에서 이미 검증됐다고 설명했다. 프랙틸리아 제품을 사용해 수행된 모든 측정은 연구개발 단계에서 HVM 단계로 이전될 수 있으며 완전 자동화가 가능하다. 

크리스 맥 프랙틸리아 CTO는 “반도체 업계가 지속적인 미세화를 통해 무어의 법칙을 계속 유지해 나가고자 함에 따라 업계 선도적인 팹들은 갈수록 악화할 뿐인 스토캐스틱 변동이 크게 늘어나는 것을 경험하고 있다 신규 팹 공정이 우수한 수율을 나타낼 수 있도록 제어하기 위해서는 스토캐스틱에 대한 정확한 측정이 필요하다”며 “프랙틸리아는 FILM 측정 엔진을 높은 처리량과 신뢰성, 낮은 대기 시간이 특징인 새로운 FAME 300 플랫폼에 통합함으로써 스토캐스틱 분석기능을 팹 HVM 환경에 도입했다 이제 프랙틸리아의 고객은 자사의 HVM 프로세스를 더 잘 제어하고, 제품의 스토캐스틱 문제를 해결하는 것과 관련해 수 개월을 절약할 수 있을 것”이라고 말했다.

새로운 FAME 300 플랫폼은 전체 팹에 대한 모든 SEM 이미지를 측정하는 데 필요한 처리량을 달성할 수 있을 만큼 확장성이 뛰어난 쿠버네티스(Kubernetes) 클러스터 기반 아키텍처를 활용한다. 

FAME 300은 지연 시간이 줄어들어 팹에서 전방 피드포워드(feed-forward) 또는 피드백(feedback) 프로세스 제어에 사용할 수 있는 실행 가능한 데이터를 단 몇 분 만에 얻을 수 있게 해준다. 또 FAME 300의 응용 분야에는 인라인(in-line) 미션 크리티컬 활용사례와 HVM 모니터 활용사례 등이 포함된다. 

이 밖에 랏 배치(lot dispositioning), 실시간 일탈 감지(excursion detection), 에지 배치 오류 최적화, 리소그래피 및 식각(etch) 공정 장비 모니터링, SEM 장비 모니터링, SEM 플릿 매칭(fleet matching), 식각 장비 챔버 매칭 등 다양한 응용이 가능하다. 프랙틸리아는 HVM 모니터만 활용하는 사례를 위한 추가적인 도구 구성도 제공한다고 이 회사는 설명했다.

에드워드 샤리에 프랙틸리아 CEO 겸 사장은 “프랙틸리아의 FILM 기술은 스토캐스틱 분석의 업계 표준”이라며 “지금까지 우리는 선도적인 반도체 디바이스 제조사, 주요 장비 제조회사, 원자재 공급업체, 연구 컨소시엄 등의 R&D 분야에서 1000명 이상의 제품 사용자를 확보했으며, OPC(optical proximity correction), 리소그래피, 식각, 증착, 측정 및 검사, 재료 및 기타 공정에 걸쳐 수많은 입증된 활용사례를 보유하고 있다”고 말했다.

샤리에 CEO는 또 “프랙틸리아 고객들에 의해 측정되는 SEM 이미지 수는 해마다 두 배 이상 증가하고 있다”며 “현재 반도체 업계에서는 프랙틸리아가 개발한 정확한 스토캐스틱 분석기술을 HVM에 적용할 필요성이 있다. 프랙틸리아의 고객들은 HVM 패터닝 공정을 보다 정확하고 강력하게 제어할 수 있는 새로운 FAME 300 시스템을 통해 이를 실현할 수 있다”고 덧붙였다.

오수민 기자 osm365@datanews.co.kr