SK하이닉스, “2024년 반도체 노광공정용 네온가스 전량 국산화”

SK하이닉스는 국내 업계 최초로 반도체 필수 원료인 네온(Ne) 가스 국산화에 성공한 후 공정 도입 비중을 40%까지 확대했다고 5일 밝혔다.

네온은 반도체 노광공정에 사용되는 엑시머 레이저 가스의 주재료다. 엑시머 레이저 가스는 매우 짧은 파장의 자외선인 엑시머 레이저를 발생시키며, 엑시머 레이저는 웨이퍼 위에 미세한 회로를 새길 때 쓰인다. 엑시머 레이저 가스 성분의 95%가 네온이지만, 네온은 공기 중에 0.00182% 밖에 존재하지 않는 희귀자원이다.

지금까지 국내 반도체 기업은 네온 공급을 수입에만 의존해왔다. 네온 가격이 급등할 조짐을 보이자 SK하이닉스는 수급 불안 리스크를 선제적으로 해소하기 위해 협력사인 반도체용 가스 제조기업 TEMC 및 포스코와 협력해 네온을 국내에서 생산할 방법을 찾았다.

3개 기업은 적은 비용으로 네온을 생산하는 기술을 개발했고, 이를 통해 생산된 국산 네온을 SK하이닉스가 평가·검증하는 방식으로 올해 초 국산화에 성공했다. 국산 네온은 포스코에서 생산된 후 TEMC의 가공을 거쳐 최우선으로 SK하이닉스에 공급되고 있다.

SK하이닉스는 지난 4월 국내 업계 최초로 반도체 노광공정에 국산 네온을 도입했으며, 현재까지 전체 네온 사용량의 40% 수준을 국산으로 대체했다. 2024년에는 네온 전량을 국산품으로 대체할 예정이다.

윤홍성 SK하이닉스 FAB원자재구매담당 부사장은 “불안정한 국제정세로 불안한 공급상황에서도 국내 협력사와의 협업으로 수급 안정화에 크게 기여한 사례”라며 “지속적인 협력을 통해 반도체 원재료 공급망을 강화할 계획”이라고 말했다.

이윤혜 기자 dbspvpt@datanews.co.kr